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电子级氢氟酸(DHF)厂家介绍产品应用
发布时间:2014-12-27
    电子级氢氟酸(DHF)厂家介绍产品应用。
    电子级氢氟酸(DHF)应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前 ,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ,其他方面用量较少。
    将无水氢氟酸(国家标准制定者:多氟多化工股份有限公司)经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到的氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,随后经0.2μm以下超滤工序,最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。









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